走査型電子顕微鏡

そうさがたでんしけんびきょう【走査型電子顕微鏡】

〔scanning electron microscope〕

試料に電子ビームを当て， 表面から放出された二次電子をとらえてブラウン管上に表示する電子顕微鏡。 走査電子顕微鏡。 セム（SEM）。